特許

J-GLOBAL ID：200903070023106136

マイクロミラー

発明者： アンドレアス ニーンドルフ ,  カールステン フンク
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-549121
公開番号（公開出願番号）：特表2003-518650
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2003年06月10日
要約：

【要約】ここで提案されているのは、少なくとも1つのねじれ軸(17)の周りに静止位置から変位可能な、少なくとも十分に自由に支持されたミラー面(10)を有するマイクロミラー(5)、例えばマイクロ振動ミラーである。ここではミラー面(10)は、少なくとも近似的に平行に並んでガイドされた少なくとも2つのトーションビーム(13,13′)を介して、少なくとも1つの支持体(11,12)に接続されている。ここではさらに、マイクロミラーを静電的または磁気的な相互作用を介して静止位置から変位させることが提案される。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つのねじれ軸(17)の周りに静止位置から変位可能な、少なくとも十分に自由に支持されたミラー面(10)を有するマイクロミラー、例えばマイクロ振動ミラーにおいて、 前記ミラー面(10)は、少なくとも近似的に平行に並んでガイドされた少なくとも2つのトーションビーム(13,13′)を介して、少なくとも1つの支持体(11,12)に接続されていることを特徴とする、 マイクロミラー。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  G02B 26/10 104 ,  G06F 13/00 560

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 104 Z ,  G06F 13/00 560 A

Fターム (9件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電磁アクチュエータ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-327369   出願人：日本信号株式会社
• 微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-030796   出願人：三星電機株式会社