特許

J-GLOBAL ID：200903070071121538

電子顕微鏡の球面収差補正装置

発明者： 細川 史生
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200768
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092078
出願日： 2002年07月10日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】 球面収差補正光学系において倍率変化が得られるようにし、また、多極子間の光軸に垂直な面内での回転関係を多極子の位相角を変化させることなく補正可能にする。【解決手段】 2つの多極子(8,9)間に2つの軸対称レンズ(10,11)を配置した電子顕微鏡の球面収差補正装置において、軸対称レンズ間にできる電子軌道の集光面内に、光軸と垂直な面内で電子に回転作用を与える回転補正レンズ(12)を配置したものである。

請求項（抜粋）：

2つの多極子間に2つの軸対称レンズを配置した電子顕微鏡の球面収差補正装置において、軸対称レンズ間にできる電子軌道の集光面内に、光軸と垂直な面内で電子に回転作用を与える回転補正レンズを配置したことを特徴とする電子顕微鏡の球面収差補正装置。

Fターム (1件)：

5C033HH05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 透過電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-169792   出願人：日本電子株式会社
• 特開平4-229938
  
• 透過電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-169791   出願人：日本電子株式会社