特許
J-GLOBAL ID：200903070073063489
ベアチップ検査機のベアチップ位置決め方法及び当該方法を実施するベアチップ位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
村瀬 一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-020915
公開番号（公開出願番号）：特開平8-195421
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 検査プローブにベアチップを正確な位置で接触させる。【構成】 吸着チャック35で保持したダミーチップを上方から検査プローブ5に接触させてダミーチップに接触傷を形成した後、各チャック35を上下反転させてダミーチップを画像処理部のカメラ76に対向させ、この場所で、画像処理部が前記接触傷の位置を認識して基準位置として記憶し、次いで、吸着チャック35で保持する部材をベアチップに交換した後に、前記基準位置に対してベアチップを位置決めし、その後、吸着チャック35を上下反転させると共にベアチップを検査プローブ5に接触させて導通検査を行う。
請求項（抜粋）：
チャックで保持したダミーチップを検査プローブに接触させてダミーチップに接触傷を形成した後、このダミーチップを保持した状態で画像処理場所に移動させ、この画像処理場所において、画像処理手段が前記接触傷の位置を認識すると共に、この位置を検査プローブの位置に対応する基準位置として記憶し、次いで、前記チャックで保持する部材をベアチップに交換した後に、画像処理場所において前記基準位置に対してベアチップを位置決めし、その後、該ベアチップに検査プローブを接触させて導通検査を行うことを特徴とするベアチップ検査機のベアチップ位置決め方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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