受光素子及び光配線LSI

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-069535
公開番号（公開出願番号）：特開2007-248141
出願日： 2006年03月14日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】表面プラズモンを伝送するための開口における表面プラズモンの透過光量の低下を招くことなく、高速応答性の向上をはかる。【解決手段】入射光を表面プラズモンに変換するための結合周期構造12が表面に設けられ、該結合周期構造12中に表裏面を貫通する開口13が設けられた導電性薄膜11と、開口13の結合周期構造12が設けられた面と反対面の端部に配置された受光部とを有した受光素子であって、開口13の形状はスリット状であり、入射光の特定の偏光方向と直交する方向の開口幅が表面プラズモン波長の1/2より長く、且つ偏光方向と平行な方向の開口幅が表面プラズモン波長の1/2より短い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

入射光を表面プラズモンに変換するための結合周期構造が表面に設けられ、該結合周期構造中に表裏面を貫通する開口が設けられた導電性薄膜と、前記開口の前記結合周期構造が設けられた面と反対面の端部に配置された受光部とを有した受光素子であって、前記開口の形状はスリット状であり、前記入射光の偏光方向と直交する方向の開口幅が前記表面プラズモン波長の1/2より長く、且つ前記偏光方向と平行な方向の開口幅が前記表面プラズモン波長の1/2より短いことを特徴とする受光素子。

IPC (3件)：

G01J 1/02 , H01L 31/10 , G01J 1/04

FI (3件)：

G01J1/02 B , H01L31/10 A , G01J1/04 A

Fターム (16件)：

2G065AB02 , 2G065BA07 , 2G065BA09 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065BB16 , 2G065BB50 , 2G065BE07 , 2G065BE08 , 2G065CA01 , 2G065CA30 , 2G065DA20 , 5F049MA02 , 5F049MB03 , 5F049NA03 , 5F049TA11

引用特許：

出願人引用 (1件)

半導体レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-373067 出願人：株式会社東芝

審査官引用 (2件)

光結線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-150440 出願人：株式会社東芝
半導体レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-373067 出願人：株式会社東芝

引用文献：

審査官引用 (4件)

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