接触モード原子間力顕微鏡の凝着シミュレータ、凝着シミュレーションプログラム、凝着シミュレーションプログラムを記憶した記録媒体及び凝着シミュレーション方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋爪健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-094243
公開番号（公開出願番号）：特開2007-271318
出願日： 2006年03月30日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

【課題】相互作用を持つ表面と探針との凝着特性をシミュレートする。【解決手段】処理部は、カンチレバーの探針の取り付けられていない側が、設定された探針の初期位置に応じた位置にある場合の探針の運動方程式を、設定された時間まで解くことで、探針の変位と探針の速度を求める(S203〜S207)。処理部は、設定された時間での探針の変位に基づき、探針及び突起と試料表面間の相互作用力を求める(S208)。処理部は、求められた相互作用力を、設定された探針の初期位置に対応させて記憶する(S209)。処理部が、次の繰り返し処理における探針の変位の初期値及び探針の速度の初期値をそれぞれ、求められた探針の変位及び探針の速度の最終時刻での値に設定する(S211)。処理部は、カンチレバーが下がる動作になるように新たな探針の初期位置を設定し(S215、S203)、上記処理を繰り返す。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

突起のついた探針が先端に取り付けられたカンチレバーが試料表面に接近並びに接触させ及び/又は引き離されて、試料表面の構造を観察する接触モード原子間力顕微鏡探針による試料表面の凝着特性をシミュレートするための接触モード原子間力顕微鏡の凝着シミュレーション方法であって、処理部が、カンチレバーが変形していない場合の探針の出発位置y02と、引き離しのための折り返し位置y01と、探針の曲率半径R1と、探針についている突起の曲率半径R2と、カンチレバーのバネ定数kと、数値計算のための所定計算時間とを入力部又は記憶部から入力するステップと、処理部が、探針の初期位置に対する変位uの初期値と、探針の速度の初期値とをそれぞれ設定する第1設定ステップと、処理部が、カンチレバーが変形していない場合の探針の初期位置u0を、入力された出発位置y02に設定する第2設定ステップと、処理部が、設定された探針の初期位置u0と、設定された探針の変位及び速度の初期値と、入力された探針の曲率半径R1と、突起の曲率半径R2と、カンチレバーのバネ定数kとに基づき、カンチレバーの根元が設定された探針の初期位置u0に応じた位置にある場合の探針の次式で表す運動方程式を、少なくとも前記所定計算時間まで解くことで、探針の変位と探針の速度を求める第1演算ステップと、

IPC (1件)：

G01N 13/16

FI (1件)：

G01N13/16 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

マイクロ凝着力の測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-343912 出願人：理化学研究所
走査型原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-352839 出願人：株式会社島津製作所
特開平3-238342

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引用文献：

出願人引用 (1件)

ナノトライボロジー非接触原子間力顕微鏡における摩擦の物理

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