特許
J-GLOBAL ID:200903070137810380

実装装置および実装装置におけるアライメント方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-048198
公開番号(公開出願番号):特開2003-249797
出願日: 2002年02月25日
公開日(公表日): 2003年09月05日
要約:
【要約】【課題】 被接合物の実装位置への移動を伴う実装装置における問題点に着目し、アライメント用マーク認識のための時間を短縮して実装工程全体のタクトの短縮を可能とし、かつ、従来の移動を停止して認識する場合の停止位置の誤差や振動等に起因するアライメント精度の低下を防止し、高精度アライメントを可能とする、実装装置および実装装置におけるアライメント方法を提供する。【解決手段】 被接合物とその保持手段の両方に位置合わせ用認識マークが付されており、保持手段に保持した被接合物を移動中に前記両認識マークを同時に読み取る認識手段を有することを特徴とする実装装置、および実装装置におけるアライメント方法。
請求項(抜粋):
被接合物とその保持手段の両方に位置合わせ用認識マークが付されており、保持手段に保持した被接合物を移動中に前記両認識マークを同時に読み取る認識手段を有することを特徴とする実装装置。
IPC (4件):
H05K 13/04 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/60 311 ,  H05K 13/08
FI (4件):
H05K 13/04 M ,  H01L 21/52 F ,  H01L 21/60 311 T ,  H05K 13/08 Q
Fターム (14件):
5E313AA01 ,  5E313AA11 ,  5E313CC04 ,  5E313CD06 ,  5E313EE02 ,  5E313EE03 ,  5E313EE22 ,  5E313FF24 ,  5E313FF29 ,  5E313FF32 ,  5F044PP17 ,  5F047FA73 ,  5F047FA77 ,  5F047FA79
引用特許:
審査官引用 (2件)

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