特許
J-GLOBAL ID：200903070156363530
プラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-140982
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326698
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ処理装置の2つの高周波電源の電圧の位相を調整する位相調整回路において、アナログ制御の場合に生じる不連続性を解消し、幅広い周波数に対応するように位相差の検出精度を向上させる。【解決手段】 位相差検出回路45に入力した検出信号S2及びS3と第2の波形合成回路44の位相差信号S1とを掛け合わせて、フィルタを通過させ高周波成分を除去し、Δfの低い周波数とする信号のみを得て位相差の検出精度を向上させた。第1乃至第3の波形合成回路42,43,44は位相調整回路1をデジタル値で直接扱う構成にしたので、出力信号の位相差を連続に制御することができるようになった。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハ等を処理するために2つの高周波電源の出力をプラズマ生成室内の2つの平板電極に夫々供給してプラズマを発生させ、前記2つの高周波電源の出力位相を所定の位相だけずらすための位相調整回路からなるプラズマ処理装置において、所定の間隔でパルス信号を出力する周波数設定回路と、位相差設定回路と、前記プラズマ生成室内の前記各平板電極の各端子電圧を検出する第1及び第2の加工電圧検出回路と、前記周波数設定回路の出力を入力とし、入力に応じた周波数f0 で所定の波形の高周波信号を合成する第1の波形合成回路と、前記周波数設定回路の出力を入力とし、前記第1の波形合成回路と同一波形でかつ前記第1の波形合成回路よりも周波数がΔf(Δf<<f0 )だけ異なる高周波信号を合成する第2の波形合成回路と、前記第2の波形合成回路の出力と前記第1及び第2の加工電圧検出回路の各検出信号とを入力とし、周波数Δfでかつ各加工電圧検出回路の検出信号の位相差に相当する電圧を出力する位相差検出回路と、前記位相差設定回路の設定値と前記位相差検出回路の出力との差信号によって定まる位相でかつ前記第1の波形合成回路と同一の周波数及び同一波形の高周波信号を出力する第3の波形合成回路と、前記周波数設定回路、位相差設定回路、第1及び第2の加工電圧検出回路、第1乃至第3の波形合成回路、位相差検出回路を統括する中央処理装置(CPU)とから成り、前記第1の波形合成回路の出力によって前記2つの高周波電源のうちの一方の出力電圧を決定し、前記第3の波形合成回路の出力によって前記高周波電源のうちの他方の出力電圧を決定する位相調整回路を備えたプラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H05H 1/46 R
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
