測定方法および測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250614
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088516
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】被検体の選択された特性値を確実に検出する測定方法を提供することである。また本発明はそのための測定装置を提供するものである。【解決手段】被検体を少なくともそのエッジと共に光源のビーム路に配置し、被検体がビーム路を少なくとも領域的に遮蔽し、そのエッジが影を画定するようにし、被検体を、回転軸を中心にして、少なくとも所定の角度領域だけ回転させ、被検体のエッジにより形成される影を観察装置によって検出し、観察装置から出力された、前記エッジにより形成された影の境界を表す信号をパラメータの検出のために評価する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つのエッジを有する被検体において選択された特性値を測定する方法において、被検体を少なくともそのエッジと共に光源のビーム路に配置し、被検体がビーム路を少なくとも領域的に遮蔽し、そのエッジが影を画定するようにし、被検体を、回転軸を中心にして、少なくとも所定の角度領域だけ回転させ、被検体のエッジにより形成される影を観察装置によって検出し、観察装置から出力された、前記エッジにより形成された影の境界を表す信号をパラメータの検出のために評価する、ことを特徴とする測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01B 11/26

FI (3件)：

G01B 11/00 A , G01B 11/00 H , G01B 11/26 H

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-232407
特開昭61-161411
特開昭60-049209

全件表示

審査官引用 (4件)

特開平4-232407
特開昭61-161411
特開昭55-037919

全件表示

前のページに戻る