特許
J-GLOBAL ID：200903070171285090
圧電共振子、圧電共振子の製造方法および圧電共振子の周波数調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-208392
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040931
出願日： 1998年07月23日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】 高い周波数の圧電共振子を製造する場合、セラミック基板の厚みが薄くなるため(MHz帯の時、数百μm以下)、ラップ研磨を用いる機械的周波数調整方法では、割れや欠けを生じ、厚み精度0.1%が限界である。【解決手段】 セラミック基板11の両主面に形成された電極12上に所望のパターン状にレジスト13を形成するレジスト形成工程(図1(d)(e))と、前記レジスト形成工程の後、電極12をエッチングして、所望のパターン状の振動電極14を形成する振動電極形成工程(図1(f))と、前記振動電極形成工程の後、レーザ光15によって振動電極14上のレジスト13の全部または一部を除去することによって、圧電共振子の周波数を調整する周波数調整工程(図1(g))とを含む圧電共振子の製造方法である。
請求項（抜粋）：
圧電基板の両主面に形成された電極上に所望のパターン状にレジストを形成するレジスト形成工程と、前記レジスト形成工程の後、前記電極をエッチングして、前記所望のパターン状の振動電極を形成する振動電極形成工程と、前記振動電極形成工程の後、前記振動電極上の前記レジストの全部または一部を除去することによって、圧電共振子の周波数を調整する周波数調整工程とを含むことを特徴とする圧電共振子の製造方法。
IPC (3件)：
H03H 3/04
, H03H 9/02
, H03H 9/17
H03H 3/04 B
, H03H 9/02 M
, H03H 9/17 A
5J033AA02
, 5J033BB04
, 5J033CC13
, 5J033DD02
, 5J033KK02
, 5J033KK06
, 5J041AA12
, 5J041AA15
, 5J041CB05
