特許

J-GLOBAL ID：200903070203860700

窒化ガリウムの製造方法

発明者： 松下 純一 ,  石本 陽一
出願人/特許権者： 学校法人東海大学
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-220938
公開番号（公開出願番号）：特開2002-029714
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、高純度の単相窒化ガリウムを得ることを課題とする。【解決手段】反応性の高い高純度ガリウムトリイソプロポキシドを、高温アンモニアガス雰囲気下で窒化反応させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。

請求項（抜粋）：

反応性の高い高純度ガリウムトリイソプロポキシドを、高温アンモニアガス雰囲気下で窒化反応させることを特徴とする窒化ガリウムの製造方法。

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 金属窒化物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-282591   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 金属、合金および金属化合物の微細粉末
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-287131   出願人：エイチ・シー・スタルク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンジツトゲゼルシヤフト
• 特開昭57-082108
  
• 窒化ガリウム系薄膜の成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-265835   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開昭63-252911
  

審査官引用 (5件)

• 金属窒化物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-282591   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 金属、合金および金属化合物の微細粉末
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-287131   出願人：エイチ・シー・スタルク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンジツトゲゼルシヤフト
• 特開昭57-082108
  
• 窒化ガリウム系薄膜の成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-265835   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開昭63-252911
  

引用文献：

出願人引用 (1件)

• Preparation of GaN by alkoxide process using Ga(i-OC3H7)3 as raw material

審査官引用 (1件)

• Preparation of GaN by alkoxide process using Ga(i-OC3H7)3 as raw material