特許
J-GLOBAL ID：200903070214405982
フッ素含有化合物の分解処理方法、触媒及び分解処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-172543
公開番号（公開出願番号）：特開平11-070322
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】CF4 ,C2F6などのようにハロゲンとしてフッ素のみを含有するフッ素化合物を効率良く分解処理する。【解決手段】ハロゲンとしてフッ素のみを含有するフッ素化合物を含むガス流を、水蒸気の存在下でAlとNi,AlとZn,AlとTiからなる触媒のようにAlを含んでなる触媒と約200〜800°Cで接触させて、前記ガス流中のフッ素をフッ化水素に転化する。【効果】ハロゲンとしてフッ素のみを含有するフッ素化合物を効率良く分解処理することができる。
請求項（抜粋）：
ハロゲンとしてフッ素を含み該フッ素を炭素,窒素及び硫黄から選ばれた元素との化合物にて含むガス流を、水蒸気の存在下で、Alを含んでなる触媒と約200〜800°Cの温度で接触させて前記ガス流中のフッ素化合物を加水分解してフッ化水素に転化することを特徴とするフッ素含有化合物の分解処理方法。
IPC (11件)：
B01D 53/86 ZAB
, B01D 53/86
, B01J 21/04
, B01J 21/06
, B01J 23/06
, B01J 23/10
, B01J 23/14
, B01J 23/42
, B01J 23/745
, B01J 23/75
, B01J 23/755
B01D 53/36 ZAB Z
, B01J 21/04 A
, B01J 21/06 A
, B01J 23/06 A
, B01J 23/10 A
, B01J 23/14 A
, B01J 23/42 A
, B01D 53/36 D
, B01J 23/74 301 A
, B01J 23/74 311 A
, B01J 23/74 321 A
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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