特許
J-GLOBAL ID:200903070216987881
弾性表面波装置およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-092242
公開番号(公開出願番号):特開平9-284090
出願日: 1996年04月15日
公開日(公表日): 1997年10月31日
要約:
【要約】【課題】 圧電性基板の焦電性に起因する櫛歯状電極の静電破壊を防ぎながら、弾性表面波素子と外囲器とを十分な強度で接合できる弾性表面波装置の製造方法を提供する。【解決手段】 外囲器101の弾性表面波素子104を搭載する領域と弾性表面波素子104の櫛歯状電極103が形成された面と反対側の面とを光硬化性を有する接着剤106を介して対向配置する工程と、櫛歯状電極103の絶縁状態を保持しながら接着剤106に光を照射し部分的に硬化させる第1の接合工程と、櫛歯状電極106と外囲器101とを電気的に接続する工程と、接着剤106を加熱して硬化させる第2の接合工程とを有する。
請求項(抜粋):
圧電性基板上に形成された櫛歯状電極を有する弾性表面波素子を外囲器に搭載して弾性表面波装置を製造する方法であって、前記外囲器の前記弾性表面波素子を搭載する領域と、前記弾性表面波素子の前記櫛歯状電極が形成された面と反対側の面とを、接着剤を介して対向配置する工程と、前記櫛歯状電極の絶縁状態を保持しながら前記接着剤を部分的に硬化させる第1の接合工程と、前記櫛歯状電極と前記外囲器とを電気的に接続する工程と、前記接着剤を加熱して硬化させる第2の接合工程とを有することを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
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