特許
J-GLOBAL ID：200903070221322073
欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-253296
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095408
出願日： 1997年09月18日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】微小な欠陥を信頼性高く検出するためにセンサデータと参照データを一致させることが簡便な方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、露光に供されるパタンが形成された試料の欠陥を検査する方法において、前記試料を照明して撮像された光学像を光電変換したのちD/A変換してセンサデータを入力する工程と、位置座標と設計データを入力して前記センサデータに対応して基準データを生成する工程と、予め前記基準データを所望の濃淡値に変換するように作成された濃度変換テーブルを用いて、前記基準データを濃度変換して参照データを生成する工程と、前記センサデータと前期参照データを比較する工程と、前記比較結果より欠陥を検出する工程を備えている。
請求項（抜粋）：
露光に供されるパタンが形成された試料の欠陥を検査する方法において、前記試料を照明して撮像された光学像を光電変換したのちD/A変換してセンサデータを入力する工程と、位置座標と設計データを入力して前記センサデータに対応して基準データを生成する工程と、予め前記基準データを所望の濃淡値に変換するように作成された濃度変換データを用いて、前記基準データを濃度変換して参照データを生成する工程と、前記センサデータと前記参照データを比較する工程と、前期比較結果より欠陥を検出する工程を備えてなることを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (4件)：
G03F 1/08
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, H01L 21/027
G03F 1/08 S
, G01B 11/30 D
, G01N 21/88 E
, H01L 21/30 502 V
