特許
J-GLOBAL ID：200903070262387589
回路装置の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-282172
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146451
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 接着強度や電気特性が十分な接続を従来より低い温度で実現する回路装置の製造装置を提案するものである。【構成】 電極端子部2と、これに電気的に接続されるべき配線パターン14とを、異方性導電膜もしくは異方性導電接着剤層3を介在させて重ね合わせた状態で互いに密着させる方向に押圧する超音波印加がなされる押圧ツール5と、電極端子部2と、これに電気的に接続されるべき配線パターン14との異方性導電膜もしくは異方性導電接着剤層4を介在させて重ね合わせた領域を光照射により加熱する光照射手段とを有し、電極端子部2と、これに電気的に接続されるべき配線パターン14とを押圧ツール5によって異方性導電膜もしくは異方性導電接着剤3を接着させて密着させるとともに超音波印加および光照射手段による光照射による加熱によって電気的および機械的接合を行う回路装置の製造装置。
請求項（抜粋）：
電極パッド部とこれに電気的に接続されるべき配線パターンとを押圧接合する超音波印加がなされる押圧ツールと、上記接合部を加熱する加熱手段とを有することを特徴とする回路装置の製造装置。
IPC (5件)：
G02F 1/1345
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
, H01L 21/60 311
, H01L 21/607
