特許
J-GLOBAL ID：200903070326406418
結晶体引上げ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有吉 教晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-346426
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169281
出願日： 1998年12月07日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 引上結晶体への熱負荷を低減し、引上結晶体の軸方向の温度勾配を大きくして、引上速度を上げ生産性を向上させる。【解決手段】 黒鉛ルツボ2に保持された石英ガラスルツボ3内の原料融液4より結晶体5を成長させる方法に用いる装置であって、黒鉛ルツボ2の融液表面より上部にある石英ガラスルツボ3外周面を、円環状の断熱材6により覆う結晶体引上げ装置。
請求項（抜粋）：
黒鉛ルツボに保持した原料溶融ルツボと、前記黒鉛ルツボを囲繞して設けられ、原料溶融ルツボに熱エネルギーを供給する熱源と、熱源からの熱エネルギーによって溶融された原料融液中より結晶体を引き上げるための引上げ機構と、を含んで構成される結晶体引上げ装置であって、結晶体引上げ開始直前における原料融液充填域より上方に位置する前記原料溶融ルツボの外周面に断熱材を設けたことを特徴とする結晶体引上げ装置。
Fターム (7件)：
4G077AA02
, 4G077CF00
, 4G077ED01
, 4G077EG02
, 4G077EG19
, 4G077EG25
, 4G077PA16
