キャパシタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-320700
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242428
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】リーク電流の小さい微細なキャパシタを実現すること。【解決手段】キャパシタの基本構造を六方晶窒化硼素BN薄膜15を2つのグラファイト膜14,16で挟んだ構造とする。

請求項（抜粋）：

誘電体膜を第1および第2の電極により挾持してなるキャパシタにおいて、前記第1および第2の電極の少なくとも一方の構成材料が、層状2次元半金属であることを特徴とするキャパシタ。

IPC (9件)：

H01L 27/108 , H01L 21/8242 , H01G 4/33 , H01L 27/04 , H01L 21/822 , H01L 27/10 451 , H01L 21/8247 , H01L 29/788 , H01L 29/792

FI (5件)：

H01L 27/10 651 , H01L 27/10 451 , H01G 4/06 102 , H01L 27/04 C , H01L 29/78 371

引用特許：

審査官引用 (3件)

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