特許
J-GLOBAL ID：200903070342769520
一体構造型スパッタリングターゲット
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125078
公開番号（公開出願番号）：特開2002-121662
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：
【要約】【課題】Al-Ti、Al-Crのような溶融合金あるいは焼結体はマイクロビッカース硬度がHv30前後であり、比較的軟質で機械的強度が低い。したがって、このような材料で一体構造型ターゲットを作製し、高出力でのスパッタに供すると、冷却水の水圧によりターゲット全体の反りの発生に基づくスパッタリング装置のターゲット装着部での水もれや異常放電等の不具合が発生するが、これらの不具合を防止する。【解決手段】ターゲットとバッキングプレートをAl系合金のような軟質金属材料で一体的に形成したバッキングプレート一体構造型ターゲットを冷間による塑性加工を行い、マイクロビッカース硬度Hv36以上とする。
請求項（抜粋）：
ターゲットとバッキングプレートをAl系合金のような軟質金属材料で一体的に形成したバッキングプレート一体構造型ターゲットにおいて、該ターゲットを冷間による塑性加工を行い、マイクロビッカース硬度Hv36以上としたことを特徴とする一体構造型スパッタリングターゲット。
IPC (2件)：
C23C 14/34
, G11B 7/26 531
C23C 14/34 A
, G11B 7/26 531
4K029BA23
, 4K029CA05
, 4K029DC04
, 4K029DC08
, 4K029DC09
, 5D121EE11
