ミリ電磁波またはサブミリ電磁波のためのアンテナと最適化キャビティとを備えてなる輻射検出デバイスならびにその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：志賀正武 , 渡邊隆 , 青山正和 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-155269
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354380
出願日： 2004年05月25日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】見かけの屈折率が1よりも小さな材料を、アンテナの下方において使用すること。【解決手段】ミリ電磁波またはサブミリ電磁波に関する輻射検出のためのデバイスであって、少なくとも1つのボロメータを具備してなり、このボロメータが、受信アンテナ(22)と、抵抗負荷(26)と、温度検出部材(24)と、共鳴キャビティ(28)と、を備え、nを、共鳴キャビティを囲んでいる材料の屈折率とし、かつ、λを、検出対象をなす電磁波に関する平均波長としたときに、共鳴キャビティの厚さが、厳格に、λ/4nよりも薄いものとされている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ミリ電磁波またはサブミリ電磁波に関する輻射検出のためのデバイスであって、少なくとも1つのボロメータを具備してなり、このボロメータが、受信アンテナ(22,68)と、抵抗負荷(26,90)と、温度検出部材(24,88)と、共鳴キャビティ(28)と、を備え、前記共鳴キャビティ(28)が、前記ボロメータの一部によって囲まれており、前記ボロメータの前記一部が、屈折率(n)を有した材料から形成され、前記受信アンテナが、前記共鳴キャビティの上方に配置され、このようなデバイスにおいて、前記共鳴キャビティの厚さが、λを、前記デバイスによって検出すべき前記電磁波に関する平均波長としたときに、厳格に、λ/(4n)よりも薄いものとされていることを特徴とするデバイス。

IPC (3件)：

G01J5/02 , G01J1/02 , H01L37/00

FI (3件)：

G01J5/02 C , G01J1/02 C , H01L37/00

Fターム (9件)：

2G065AB01 , 2G065BA12 , 2G065BA34 , 2G065BC12 , 2G065DA20 , 2G066BA09 , 2G066BA10 , 2G066BA55 , 2G066CA02

引用特許：

出願人引用 (6件)

欧州特許出願公開第0 749 007号明細書
米国特許第5,825,029号明細書
国際公開第00/40937号パンフレット

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審査官引用 (1件)

特許第6329655号

引用文献：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (1件)

“Integration of microbolometers with infrared microstrip antennas”

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