特許

J-GLOBAL ID：200903070369099969

外観検査装置及び電子回路用外観検査装置

発明者： 吉村 郁夫 ,  小島 範幸
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-238197
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091942
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 光学系の移動等に一切の影響を及ぼすことはなく、被検査物体に光を照射することのできる外観検査装置を得ること。【構成】 顕微鏡12の各々の対物レンズ18の外周にリング状のライトガイド28を取り付ける。ライトガイド28には複数本の光ファイバ42の一端部を被検査物体側の端部に環状に設ける。光ファイバ42の他端部は丸パイプ44の先端と面一とし、対物レンズ18を被検査物体に対応させた際に、丸パイプ44の先端が全て同一位置となるように対物レンズ18へ取り付ける。光源に繋がれた光ファイバ束48の先端側を丸パイプ44の先端と離して対向させる。光ファイバ42の他端に入射した光は、環状に配置された光ファイバ42の一端から被検査物体へ照射される。ライトガイド28と光源とが機械的には分離されているので、レボルバ20の移動が阻害されない。

請求項（抜粋）：

被検査物体の外観を検査するために用いられ、前記被検査物体と対向する検査位置から前記検査位置とは異なる位置へ移動可能とされる光学系と、前記光学系の前記被検査物体側に設けられ、光入射部及び前記光入射部から入射した光を前記被検査物体へ照射する光照射部を有する光伝達手段を備え、前記光学系を前記検査位置に配置した状態では光入射部が所定位置に配置される照明手段と、前記照明手段とは機械的に分離され、前記所定位置に配置された前記光入射部へ向けて光を照射する光源と、を備えたことを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G02B 6/00 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 透孔寸法測定装置用照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-203920   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平3-269246