特許
J-GLOBAL ID：200903070401543892
成膜・改質集合装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-130258
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079377
出願日： 1997年05月02日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】【課題】 金属酸化膜の成膜と改質とを連続的に行ない、成膜レートと改質レートを向上させて全体のスループットを大幅に向上させることができる成膜・改質集合装置を提供する。【解決手段】 被処理体Wに対して気化状態の金属酸化膜原料と気化状態のアルコールの存在下の真空雰囲気中にて金属酸化膜を形成する成膜装置4と、前記金属酸化膜を真空雰囲気下において活性酸素原子に晒すことによって改質する改質装置6と、前記成膜装置と前記改質装置とに共通に連結され、真空状態を維持しつつ前記成膜装置と前記改質装置との間で前記被処理体を移載する共通移載室8とを備えるように構成する。これにより、成膜レート、改質レートを共に向上させて全体のスループットを向上させる。
請求項（抜粋）：
被処理体に対して気化状態の金属酸化膜原料と気化状態のアルコールの存在下の真空雰囲気中にて金属酸化膜を形成する成膜装置と、前記金属酸化膜を真空雰囲気下において活性酸素原子に晒すことによって改質する改質装置と、前記成膜装置と前記改質装置とに共通に連結され、真空状態を維持しつつ前記成膜装置と前記改質装置との間で前記被処理体を移載する共通移載室とを備えたことを特徴とする成膜・改質集合装置。
IPC (3件)：
H01L 21/31
, C23C 16/40
, C23C 16/44
H01L 21/31 B
, C23C 16/40
, C23C 16/44 F
