緻密な石英ガラス粒子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-244539
公開番号（公開出願番号）：特開2001-080927
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高純度で緻密な石英ガラス粒子の経済的な製造を可能にする方法の提供。【解決手段】非晶質SiO2粉末から多孔質顆粒体を製造し、この顆粒体をガラス質化することによる緻密な非晶質石英ガラス粒子の製造方法である。多孔質SiO2顆粒体8は燃料ガス炎バーナー炎5に曝され、微細に分散され、加熱され、その中でガラス質化される。燃料ガス炎の温度はフレキシブルであり、特により高温に設定することができる。顆粒体は、燃料ガス炎の中で、凝集することなく非常に高温の焼結温度に曝される。回転チューブ11の長さは、石英ガラス粒子10が、サイクロン12で冷却され、固化するように調節する。サイクロンの中で石英ガラス粒子10が分離される。

請求項（抜粋）：

非晶質SiO2粉末から多孔質顆粒体を製造し、この顆粒体をガラス質化することによる緻密な非晶質石英ガラス粒子の製造方法において、多孔質顆粒体を燃料ガス炎中に微細に分散させ、その中でガラス質化することを特徴とする前記製造方法。

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開昭60-180911
特開平2-199013
特開昭63-095112

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