特許
J-GLOBAL ID：200903070443741465
電子ビーム照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
角田 芳末
, 磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-388328
公開番号（公開出願番号）：特開2005-147956
出願日： 2003年11月18日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】偏向調整作業の煩雑さ、電子ビームの収差の増大、分解能への影響、電子ビームの不安定性の低減を図る。【解決手段】被電子ビーム照射体3から非接触的に浮上させ、電子ビーム出射孔26の前方部を限定的に真空に保持する差動排気浮上ヘッド4は、電子ビーム透過孔30を開閉する真空封止バルブ31を有し、真空封止バルブ31は、差動排気浮上ヘッド4の電子ビーム透過孔30を開放する開放状態と、電子ビーム出射孔26および差動排気浮上ヘッド4の電子ビーム透過孔30の内径より小の内径の電子ビーム通過孔32を電子ビーム2の光路位置に配置する配置状態とを形成し、電子ビーム透過孔30の径を十分大とする。電子ビームの光軸調整のときには、真空封止バルブ31を開放してマージンを大とすることにより、光軸の平行移動調整によって電子ビーム位置調整を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子ビーム出射孔を有する電子ビーム照射装置本体と、
上記電子ビーム出射孔に対向する電子ビーム透過孔が形成された差動排気浮上ヘッドと、
該差動排気浮上ヘッドに対向して被電子ビーム照射体を配置する被電子ビーム照射体の支持体とを有し、
上記差動排気浮上ヘッドは、静圧差動排気によって該差動排気浮上ヘッドを上記被電子ビーム照射体から非接触的に浮上させると共に、上記電子ビーム出射孔の前方部を限定的に真空に保持する真空シールを構成するようになされ、
上記差動排気浮上ヘッドは、上記電子ビーム透過孔を開閉する真空封止バルブを有し、
該真空封止バルブは、上記電子ビーム照射装置本体の電子ビーム出射孔および上記差動排気浮上ヘッドの電子ビーム透過孔の内径より小径の電子ビーム通過孔を少なくとも有し、
該真空封止バルブは、上記差動排気浮上ヘッドの電子ビーム透過孔を開放する開放状態と、上記小径の電子ビーム通過孔を、上記電子ビーム照射装置本体からの上記電子ビームの光路位置に配置する配置状態とを形成する構成とされて成ることを特徴とする電子ビーム照射装置。
IPC (7件)：
G21K5/04
, G11B7/26
, G21K5/00
, H01J37/18
, H01J37/28
, H01J37/301
, H01J37/305
G21K5/04 M
, G21K5/04 D
, G11B7/26 501
, G21K5/00 A
, H01J37/18
, H01J37/28 B
, H01J37/301
, H01J37/305 B
5C033KK01
, 5C033KK06
, 5C033UU03
, 5C034BB06
, 5C034BB10
, 5D121BB21
, 5D121BB38
