特許
J-GLOBAL ID：200903070516431796

ウエハチャック

発明者：
大久保 安教

大久保 安教 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-136375
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330401
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 ウエハのパーティクル付着、うねりをなくし、ウエハ清浄度及びウエハ精度の向上を図る。【構成】 上面が吸着面31となる円盤状のチャック本体21と、このチャック本体21と同心円で吸着面に形成される真空排気用溝25と、縁部21aを除く吸着面31に形成され吸着面31を粗すことによりウエハの裏面を支持する多数の点状凸部が形成された粗面33とを具備してウエハチャック39を構成する。また、ウエハチャックは、真空排気用溝25に代えて、チャック本体21と同心円の円周上に等間隔で穿設された複数の真空排気用孔を具備するものであってもよい。
請求項（抜粋）：
上面が吸着面となる円盤状のチャック本体と、該チャック本体と同心円で前記吸着面に形成される真空排気用溝と、縁部を除く前記吸着面に形成され該吸着面を粗すことによりウエハの裏面を支持する多数の点状凸部が形成された粗面とを具備することを特徴とするウエハチャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  B23Q 3/15
FI (3件)：
H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A ,  B23Q 3/15 D
引用特許：
審査官引用 (4件)
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