窒素含有バナジウム被膜、その製造方法及び機械部材

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本彰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-101042
公開番号（公開出願番号）：特開2006-283055
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】良好な耐摩耗性、高い硬度、基材への良好な密着性及び靭性等の特性を有し、且つ、適用可能な基材の範囲が広い、新規且つ有用な被膜を提供する。【解決手段】 VxNy結晶を分散せしめた窒素含有バナジウム被膜である。前記VxNy結晶は、好ましくは、100原子当たり50〜99のバナジウム原子及び50〜1の窒素原子を含むものとする。前記窒素含有バナジウム被膜は、窒素の雰囲気中でバナジウムをスパッタリングすることによって形成することができる。好ましくは、前記スパッタリングを行う前にイオンボンバード処理を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

VxNy結晶が分散している、窒素含有バナジウム被膜。

IPC (2件)：

C23C 14/06 , C23C 14/34

FI (2件)：

C23C14/06 A , C23C14/34 N

Fターム (8件)：

4K029BA01 , 4K029BA58 , 4K029BC02 , 4K029BD03 , 4K029CA06 , 4K029DC03 , 4K029EA05 , 4K029EA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平3-202460号公報

審査官引用 (5件)

摺動部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-049650 出願人：帝国ピストンリング株式会社
特開昭53-092378
特開昭64-006514

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