特許
J-GLOBAL ID：200903070592506460

固体撮像素子

発明者：
阿部 秀司

阿部 秀司 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184737
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031804
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 多くの斜め光成分を含む入射光のセンサ部への集光効率を高めて、この入射光に対する感度低下を抑制し、これにより画素サイズの微細化を図る。【解決手段】 基体2上にライン状の転送電極5が間隔をあけて配列され、基体2の転送電極5のライン間に光電変換をなす島状のセンサ部6が形成され、転送電極5を覆うとともにセンサ部6の直上位置を開口してこのセンサ部6以外への光Rの入射を遮断する遮光膜9が基体2上に形成され、遮光膜9の上方にセンサ部6への入射光Rを集光するオンチップレンズ12が設けられてなるCCD固体撮像素子1において、上記遮光膜9の転送電極5の側面部5aにおける厚みdが0.3μm以上、0.8μm以下に形成され、またオンチップレンズ12は、その焦点Pがセンサ部6の直上にて遮光膜9が開口した位置で、遮光膜9の上端部9aと略等しい高さ位置に設けられるように形成されている。
請求項（抜粋）：
基体上に間隔をあけて配列されたライン状の転送電極と、前記基体の前記転送電極のライン間に形成された光電変換をなす島状のセンサ部と、前記転送電極を覆って前記基体上に形成されるとともに前記センサ部の直上位置を開口した状態で形成されて該センサ部以外への光の入射を遮断する遮光膜と、前記遮光膜の上方に設けられて前記センサ部への入射光を集光するレンズとを備えた固体撮像素子において、前記遮光膜は、前記転送電極の側面部における厚みが0.3μm以上、0.8μm以下に形成され、前記レンズは、その焦点が前記センサ部の直上にて前記遮光膜が開口した位置で、該遮光膜の上端部と略等しい高さ位置に設けられるように形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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