透明導電性基板およびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮井暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-018372
公開番号（公開出願番号）：特開平7-224384
出願日： 1994年02月15日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】カラー液晶テレビやカラー液晶ビューファインダ等において青色側の画像が暗くなるという課題を解決し、忠実な自然色の再現に有効な透明導電性基板とその製造方法を得る。【構成】透明基板1の表面に第1の工程において、雰囲気ガスにArを使用し、スパッタパワーを400W、スパッタ圧を10mTorrに調節し、水素分圧を2.0%に固定し、酸素分圧が0.7%から1.1%の間でITO薄膜3を形成し、その後第2の工程においてそのITO薄膜3を酸素プラズマ処理する。

請求項（抜粋）：