特許

J-GLOBAL ID：200903070601405710

内側部を有する被コーティング体のコーティング方法及び装置

発明者： 藤山 寛 ,  高木 俊
出願人/特許権者： 日東工器株式会社
代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-089497
公開番号（公開出願番号）：特開平5-263223
出願日： 1992年03月14日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 小口径の管体、円筒体等の被コーティング材でも容易に内側面、端面及び外側面のコーティングができる内側部を有する被コーティング体のコーティング方法及び装置を提供する。【構成】 減圧下の放電ガス内に設置された被コーティング体の内側軸心上に第1ターゲット、端面に対向して第2ターゲット、外側に対して第3ターゲットを設け、同軸管路にマイクロ波を照射すると共にこのマイクロ波の周波数に対応した磁場を発生させると、電子サイクロトロン共鳴プラズマが発生する。被コーティング体に対しスパッターのターゲットを負電位とし、被コーティング体をアースするとターゲットにプラズマ中の正イオンが衝突し、ターゲットから中性粒子が飛び出し、被コーティング体の内側面、端面及び外側面に中性粒子及び放電ガス中のN2とからセラミックスの被膜が形成される。

請求項（抜粋）：

真空装置内に内側部を有する被コーティング体とターゲットを配設し、前記真空装置内を減圧して放電ガスを供給し、磁場を発生させるとともにマイクロ波を照射して電子サイクロトロン共鳴プラズマを発生させ、前記ターゲットを前記被コーティング体に対し負電位としてスパッタリングを発生させ、前記被コーティング体をコーティングする内側部を有する被コーティング体のコーティング方法において、前記ターゲットが前記被コーティング体の内部に同軸上に設けられた第1ターゲットと、 前記被コーティング体の端面に対して設けられた第2ターゲットと、前記被コーティング体の外側に対して設けられた第3ターゲットとよりなることを特徴とする内側部を有する被コーティング体のコーティング方法。