特許
J-GLOBAL ID：200903070613011068
膜厚測定装置及び膜厚測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293243
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122826
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】本発明は、膜厚測定装置及び膜厚測定方法について、膜厚を比較的短時間で精度良く測定し得るようにする。【解決手段】本発明は、照射光学系により光ビームを集光させて多層光デイスクの信号記録面に照射すると共に、当該多層光デイスクから得られる反射光を受光素子に受光し、次いで変位手段により光ビームの焦点位置をその光軸に沿つて変位させると共に、変位量測定手段により光ビームの焦点位置の変位量を測定し、続いて回転手段により多層光デイスクを回転させると共に、移動手段により光ビームの照射位置を多層光デイスクの径方向に移動させ、次いで膜厚測定手段により受光素子の出力と、変位量測定手段の出力とに基づいて信号記録面間の膜厚を測定することにより、信号記録面間のほぼ全体の膜厚を測定誤差を大幅に減少させて連続して測定でき、かくして膜厚を比較的短時間で精度良く測定し得る。
請求項（抜粋）：
記録信号に応じた凹凸パターンを有する信号記録面がその厚み方向に複数設けられた多層光デイスクの上記信号記録面間の膜厚を測定する膜厚測定装置において、光ビームを集光させて上記多層光デイスクの上記信号記録面に照射すると共に、当該照射した上記光ビームの上記多層光デイスクにおける反射光を受光素子に受光する照射光学系と、上記光ビームの焦点位置を当該光ビームの光軸に沿つて振動させるように変位させる変位手段と、上記光ビームの上記焦点位置の変位量を測定する変位量測定手段と、上記多層光デイスクを当該多層光デイスクの中心軸を中心にして所定回転数で回転させる回転手段と、上記多層光デイスクの上記信号記録面における上記光ビームの照射位置を上記多層光デイスクの径方向に移動させる移動手段と、上記照射光学系の上記受光素子の出力と、上記変位量測定手段の出力とに基づいて上記多層光デイスクの上記信号記録面間の上記膜厚を測定する膜厚測定手段とを具えることを特徴とする膜厚測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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