特許

J-GLOBAL ID：200903070619205476

圧電体薄膜素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置

発明者： 原 慎太郎 ,  鎌田 健 ,  松原 正吾
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-310739
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146640
出願日： 2002年10月25日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】誘電体薄膜の機械的強度を保持し、引っ張り応力によるクラックや膜破壊を防止する。【解決手段】基板21と、基板21上に形成された第1の電極3と、第1の電極3上に基板加熱により形成された誘電体薄膜10と、誘電体薄膜10上に形成された第2の電極22を備えた誘電体薄膜素子であって、誘電体薄膜10と基板21とは相互に熱膨張係数が異なり、基板21により誘電体薄膜10が圧縮膜とされるようにする。つまり、誘電体薄膜10の熱膨張係数をαp、基板21の熱膨張係数をαsとすると、αp<αsの関係を満たすようにする。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第1の電極上に基板加熱により形成された圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜上に形成された第2の電極を備えた圧電体薄膜素子であって、 前記圧電体薄膜と前記基板とは相互に熱膨張係数が異なり、前記基板により前記圧電体薄膜が圧縮膜とされていることを特徴とする圧電体薄膜素子。

IPC (7件)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  C23C14/34 ,  H01L41/18 ,  H01L41/24

FI (7件)：

H01L41/08 C ,  C23C14/34 R ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 J ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A

Fターム (26件)：

2C057AF93 ,  2C057AG39 ,  2C057AG43 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP52 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4K029AA04 ,  4K029AA07 ,  4K029AA09 ,  4K029BA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA13 ,  4K029BA17 ,  4K029BA43 ,  4K029BB02 ,  4K029BB09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC34 ,  4K029EA00 ,  4K029EA03 ,  4K029EA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 圧電体素子及びこれを用いた電気機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-101286   出願人：セイコーエプソン株式会社