圧電体素子及びこれを用いた電気機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲葉良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-101286
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299714
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】電歪領域で駆動させる場合に好適な特性を示すことのできる圧電体素子を提供する。【解決手段】圧電体膜23と、この圧電体膜の両面を挟んで配置される下部電極22および上部電極24とを備えた圧電体素子21であって、前記圧電体膜は、菱面体晶系で、かつ(001)面優先配向であり、電界方向の格子定数が面内の格子定数より大きいことを特徴とする。前記圧電体膜は、面方向に圧縮応力を有することが好ましく、前記圧電体膜をSiO2基板上に形成し、かつ膜厚を1μm以上とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

圧電体膜と、この圧電体膜の両面を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、菱面体晶系で、かつ(001)面優先配向であり、電界方向の格子定数が面内の格子定数より大きいことを特徴とする圧電体素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 , B81B 3/00 , F04B 9/00 , F04B 43/04 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (6件)：

B81B 3/00 , F04B 9/00 B , F04B 43/04 B , H01L 41/08 C , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

Fターム (14件)：

3H075AA01 , 3H075BB04 , 3H075BB21 , 3H075CC00 , 3H075CC32 , 3H075DB02 , 3H077AA00 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077EE34 , 3H077FF07 , 3H077FF22 , 3H077FF36

引用特許：

審査官引用 (5件)

圧電素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-048951 出願人：オムロン株式会社
インクジェット式記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-337706 出願人：松下電器産業株式会社
強誘電性セラミックスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-074186 出願人：株式会社豊田中央研究所

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