特許

J-GLOBAL ID：200903070636063677

枚葉式両面洗浄装置

発明者： 松川 浩之 ,  米水 昭 ,  松下 道明
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-300985
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130693
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 多種多様な工程に対応できる枚葉式両面洗浄装置。【構成】 被洗浄体が収納されたカセットを搬入搬出するカセットステーションと、このカセットステーションから取り出された上記被洗浄体を搬送する搬送機構と、この搬送機構が上記被搬送体を搬送する搬送路と、この搬送路に沿って設けられた被洗浄体を洗浄する少なくとも1つの洗浄機構と、上記搬送路に沿って設けられた被洗浄体の表裏面を反転させる被洗浄体反転機構とから構成されたことを特徴とする枚葉式両面洗浄装置。

請求項（抜粋）：

被洗浄体が収納されたカセットを搬入搬出するカセットステーションと、このカセットステーションから取り出された上記被洗浄体を搬送する搬送機構と、この搬送機構が上記被搬送体を搬送する搬送路と、この搬送路に沿って設けられた被洗浄体を洗浄する少なくとも1つの洗浄機構と、上記搬送路に沿って設けられた被洗浄体の表裏面を反転させる被洗浄体反転機構とから構成されたことを特徴とする枚葉式両面洗浄装置。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 361 ,  B08B 3/02 ,  B08B 11/04 ,  H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-089932   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平3-052226