静電容量型圧力センサユニット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西浦 ▲嗣▼晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001626
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205983
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】信号処理用ICにノイズが入るのを阻止できる静電容量型圧力センサユニットを得る。【解決手段】静電容量型圧力センサユニットを、収納ケースのケース本体内にその圧力感知面がケース本体の底壁部を向くように収納する。静電容量型圧力センサ素子の上方には、基板部材の実装面上に圧力センサ素子の出力を処理するための信号処理回路を構成する信号処理用IC4を含む複数の電気回路部品を実装した回路基板9を配置する。静電容量型圧力センサ素子及び回路基板9を覆うようにしてケース本体内の開口部にコネクタのコネクタ本体を組み入れる。回路基板9を内層にアースに接続したシールド層9hを含む多層回路基板により構成する。信号処理用IC4を、圧力センサ素子と回路基板9との間に配置し且つシールド層9hと対向するように回路基板9の実装面上に実装する。

請求項（抜粋）：

表面に第1の静電容量検出用電極パターンを有し裏面が圧力感知面を構成する絶縁性材料からなる第1の絶縁性基体と、前記第1の絶縁性基体に対して固定されて裏面に前記第1の静電容量検出用電極と間隔をあけて対向する第2の静電容量検出用電極パターンを有する絶縁性材料からなる第2の絶縁性基体とを具備し、前記第1の絶縁性基体の前記圧力感知面に作用する圧力の変化を前記第1の静電容量検出用電極と前記第2の静電容量検出用電極パターンとの間の静電容量の変化に基づいて検出する静電容量型圧力センサ素子と、一端に開口部を有し他端に底壁部を有する筒状のケース本体を具備し、前記底壁部に圧力測定の対象となる圧力被測定流体を導入する流体導入口を有する金属製の収納ケースと、回路パターンを備えた基板部材の実装面上に前記圧力センサ素子の出力を処理するための信号処理回路を構成する信号処理用ICを含む複数の電気回路部品が実装されている回路基板と、絶縁材料により形成され且つ一面に開口部を有する基部内に前記回路基板を収納する回路部品収納室を備えたコネクタ本体及び前記コネクタ本体に固定され一端が前記回路部品収納室内に突出して前記回路基板の前記回路パターンに電気的に接続され且つ他端が外部に露出する複数の接続用導体を備えたコネクタとを具備し、前記回路基板は前記実装面が前記圧力センサ素子の前記第2の絶縁性基体の表面に沿って延びるように配置され、前記圧力センサ素子が、前記圧力感知面と前記収納ケースの前記底壁部との間に前記流体導入口から導入された流体が入る流体室を構成するように前記収納ケースの前記ケース本体内に収納され、前記コネクタ本体の前記基部が前記ケース本体内に収納されている静電容量型圧力センサユニットにおいて、前記回路基板は内層にアースに接続されたシールド層を含む多層回路基板からなり、前記信号処理用ICは、前記圧力センサ素子と前記回路基板との間に位置し且つ前記シールド層と対向するように前記回路基板の前記実装面上に実装されていることを特徴とする静電容量型圧力センサユニット。

Fターム (11件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD09 , 2F055EE25 , 2F055FF11 , 2F055FF38 , 2F055GG11 , 2F055GG12 , 2F055GG25 , 2F055HH05

引用特許：

審査官引用 (3件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-163158 出願人：株式会社不二工機製作所
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-143872 出願人：株式会社不二工機
携帯用高周波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-033383 出願人：松下電器産業株式会社

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