特許
J-GLOBAL ID：200903070639428773
ウェーハ研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-241331
公開番号（公開出願番号）：特開平11-077519
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】スラリーを研磨布に十分に染み込ませてウェーハを研磨することにより、ウェーハの研磨精度を向上させる。【解決手段】本発明は、ウェーハ50の周囲を包囲してウェーハ50と共に研磨布に押し付けられる環状部材28、62を設けている。この環状部材28、62の研磨布16に接触する面には、スラリー23をウェーハ50に向けて案内する溝29と、この溝29で案内されてきたスラリー23を研磨布16に染み込ませるための平坦面62Aとが形成されている。これにより、本発明は、スラリー23が十分に染み込んだ研磨布16でウェーハ50を研磨することができるので、ウェーハ50の研磨精度が向上する。
請求項（抜粋）：
ウェーハと研磨布との間に研磨液を供給すると共に、ウェーハと研磨布とを押し付けながら相対運動させて、ウェーハを研磨するウェーハ研磨装置において、前記ウェーハの周囲を包囲してウェーハと共に研磨布に押し付けられる環状部材を設け、該環状部材の前記研磨布に接触する面に、前記研磨液を環状部材の外側から内側に向けて案内する溝と、該溝の内側終端に隣接した位置で該溝で案内されてきた研磨液を研磨布に染み込ませる平坦面とを形成したことを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 Z
, B24B 57/02
