放射光ミラー装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-235562
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059895
出願日： 1999年08月23日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】長尺ミラーの位置や角度を最適な状態に設定できる放射光ミラー装置を提供する。【解決手段】長尺ミラー13の端部を各揺動ホルダ14を介して枢支する支持ホルダ15と、各支持ホルダ15に取付けられ且つ長尺ミラー13の反射面18に略直交する方向へ延びるロッド51と、各支持ホルダ15ごとに設けられ且つロッド51を軸線方向へ変位させ得るZ軸ステージ52とを備え、ロッド51とZ軸ステージ52との間に設けたY軸ステージ54により、ロッド51の長尺ミラー13の長手方向への変位を許容して、Z軸ステージ52によるロッド51の変位量の増大を図り、長尺ミラー13の位置や角度を最適な状態に設定する。

請求項（抜粋）：

反射面に入射する放射光ビームに含まれているX線領域の電磁波をX線ビームとして反射する長尺ミラーと、該長尺ミラーの各端部をそれぞれ保持する揺動ホルダと、長尺ミラーが湾曲し得るように各揺動ホルダを枢支する支持ホルダと、各支持ホルダに取付けられ且つ長尺ミラーの反射面に略直交する方向へ延びるロッドと、各支持ホルダごとに設けられ且つロッドを軸線方向へ変位させ得るZ軸ステージとを備え、ロッドとZ軸ステージとの間に、ロッドの長尺ミラーの長手方向への変位を許容し得るY軸ステージを設けたことを特徴とする放射光ミラー装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

放射光ミラー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-015911 出願人：石川島播磨重工業株式会社
特開平2-287300
特開平2-287300

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