薄膜磁気書込みヘッド及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：合田潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-012264
公開番号（公開出願番号）：特開平7-296328
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 2つの磁極層の1つの上部に配置されたノッチ構造体を有する薄膜磁気書込みヘッドを提供する。【構成】ノッチ構造体は、通常、U形状の薄膜層であって、ヘッドの磁極端領域の1つ以上の磁極端層を抑制するためにU字型内にトレンチを形成する。ノッチ構造体は、エア・ベアリング面の一部を形成する平面に置かれた、U形状の脚の先端において前面部を有する。ノッチ層の厚さは、トレンチ内に配置された1つ以上の磁極端層の厚さと実質的に等しい。書込みヘッドの製造方法には、ノッチ構造体を画定するための、非常に薄いフォトレジスト層を形成する方法が含まれる。ノッチ構造体はよく画定されるので、1つ以上の磁極端層がよく画定され、トレンチ内に非常に狭いトラック幅を設定できる。

請求項（抜粋）：

磁極端領域に磁極端部並びに後部領域に後面部を有する第1の磁極層と、前記磁極端領域の前記第1の磁極層上に形成され、前記磁極端領域にトレンチを形成するノッチ構造体と、前記磁極端領域に前記磁極端部並びに前記後部領域に前記後面部を有し、前記第1の磁極層上に形成された第2の磁極層と、後部領域において前記第1の磁極層に接続され、前記ノッチ構造体上に形成された前記第2の磁極層の磁極端部と、前記第1の磁極層と前記第2の磁極層との間に形成されたギャップ層と、前記第1の磁極層或いは前記磁極端領域の前記第2の磁極端層に接続され、且つ前記トレンチに形成された少なくとも1つの磁極端層と、を有する、多層磁極端領域と後部領域を持つ薄膜磁気書込みヘッド。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-099907
特開平2-294914
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-031771 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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