特許

J-GLOBAL ID：200903070655147458

導電性ボールの移載装置および移載方法

発明者： 中里 真一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289102
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117566
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】 移載ミスを減少させることができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供することを目的とする。【解決手段】 吸着ヘッドにより導電性ボールを真空吸着してピックアップしワークに移載する導電性ボールの移載方法において、吸着ヘッドに真空吸着された導電性ボールをワークに移載する際の導電性ボールの吸着解放時に行われる吸着ヘッド内へのエアブローの条件を、正圧および負圧を検出可能な圧力検出手段による吸着ヘッド内の圧力検出結果に基づいて設定するようにした。これにより吸着ヘッド内の内圧の変化を所定のパターンに設定することができ、導電性ボールを吸着孔から迅速にしかも位置ずれを生じることなく離脱させることができる。

請求項（抜粋）：

下面に複数の吸着孔が設けられた吸着ヘッドにより導電性ボールの供給部から導電性ボールを真空吸着してピックアップしワークに移載する導電性ボールの移載装置であって、前記吸着ヘッドの内部を真空吸引する真空吸引手段と、この吸着ヘッド内に空気を吹き込むエアブロー手段と、吸着ヘッド内の正圧および負圧を検出可能な圧力検出手段とを備えたことを特徴とする導電性ボールの移載装置。

IPC (3件)：

B23P 21/00 305 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/60

FI (3件)：

B23P 21/00 305 B ,  B25J 15/06 K ,  H01L 21/92 604 H

Fターム (7件)：

3F061AA03 ,  3F061CA01 ,  3F061CC13 ,  3F061DB03 ,  3F061DB06 ,  3F061DC03 ,  3F061DD02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 導電性ボールの搭載方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-217021   出願人：松下電器産業株式会社