特許
J-GLOBAL ID：200903070661984248

電界放出型冷陰極

発明者：
山本 博規

山本 博規 について

, 
馬場 和宏

馬場 和宏 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-012017
公開番号（公開出願番号）：特開2001-202871
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：
【要約】【課題】 低電界において高電子放出が可能であり、かつ長時間安定動作する、ダイヤモンド膜を用いた電界放出冷陰極を提供する。【解決手段】 電界放出型冷陰極において電子放出部となる部分を、CVD法にて結晶ダイヤモンドと微結晶ダイヤモンドで構成する。ここで結晶ダイヤモンドは電子放出サイト、微結晶ダイヤモンドは下部電極から表面までの電子輸送経路として機能するため、高電子放出が可能となる。また、電子放出部全てがダイヤモンドで構成されるので、化学的に安定であり、表面状態が変化しにくいため、長時間安定動作が可能となる。さらに、CVD法で電子放出部を作製するので、下部電極と電子放出部の間にはカーバイトが形成される。その結果、電気的接触が得られ、低電界で動作が可能となる。
請求項（抜粋）：
電子放出部が結晶ダイヤモンドと微結晶ダイヤモンドからなることを特徴とする電界放出型冷陰極。
IPC (3件)：
H01J 1/304 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12
FI (3件)：
H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F
Fターム (7件)：
5C031DD09 ,  5C036EE01 ,  5C036EF01 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11 ,  5C036EH21
引用特許：
審査官引用 (3件)

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