走査電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331644
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147112
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、このような問題点を鑑みてなされたもので、微小な素子であるにも関わらず、離間しているが故に倍率を低くして寸法測定を行わざるを得ない対象試料の測長を高精度に行うことを目的とするものである。【解決手段】本発明によれば、上記目的を達成するために第1に、電子線を試料上で走査し、当該試料で得られた二次信号に基づいて試料像を形成し、当該試料像に基づいて二点間の寸法測定を行う走査電子顕微鏡において、前記二点を結ぶ直線に対し、垂直な方向に前記試料像を伸ばして形成する手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡を提供する。

請求項（抜粋）：

電子線を試料上で走査し、当該試料で得られた二次信号に基づいて試料像を形成し、当該試料像に基づいて二点間の寸法測定を行う走査電子顕微鏡において、前記二点を結ぶ直線に対し、垂直な方向に前記試料像を伸ばして形成する手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

Fターム (11件)：

2F067AA21 , 2F067AA25 , 2F067HH06 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067LL00 , 2F067QQ02 , 2F067RR27 , 2F067RR28 , 2F067RR35 , 2F067RR37

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭59-201351
特開昭61-148312
特開昭61-183863

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