光学式変位測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-290859
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145660
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】受光量が過大ないし過小になっても比較的よい測定結果を得ることができる光学式変位測定装置を提供する。【構成】変位センサ11は、光ビームを物体表面で走査し、その反射光を用いて物体表面の基準平面からの変位を求めることにより、走査方向に変位を対応付けた測定結果を出力する。測定データ補正部12は、変位センサ11での受光量が規定範囲を逸脱する間には、受光量が規定範囲を逸脱する直前の値を変位センサ11の測定結果として代用する。

請求項（抜粋）：

物体の表面を投光スポットが移動するように光ビームを物体表面に走査して投光する投光手段と、投光スポットの像を受光光学系を通して受光素子の受光面に結像させ受光量と結像スポットの位置との情報を含む位置信号を出力する受光手段と、受光手段の出力に基づいて基準平面に対する物体の表面の変位を光ビームの走査位置に対応付けた測定結果を求める演算手段とを備える光学式変位測定装置において、受光手段での受光量が規定の閾値よりも大きいときに、その閾値を横切る直前に求めた変位を測定結果の変位として代用する測定データ補正部を設けて成ることを特徴とする光学式変位測定装置。

IPC (3件)：

G01C 3/06 , G01B 11/00 , G01B 11/24

引用特許：

出願人引用 (3件)

測距センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-239530 出願人：シャープ株式会社
特開平4-364411
形状検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-004714 出願人：太陽誘電株式会社

審査官引用 (3件)

測距センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-239530 出願人：シャープ株式会社
特開平4-364411
形状検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-004714 出願人：太陽誘電株式会社

前のページに戻る