特許

J-GLOBAL ID：200903070717271371

投影露光装置及びその投影露光方法

発明者： 徳島 忍
出願人/特許権者： 株式会社目白プレシジョン
代理人 (2件)： 津国 肇 ,  篠田 文雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-304463
公開番号（公開出願番号）：特開2007-114385
出願日： 2005年10月19日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる投影露光装置、及び投影露光方法を提供する。【解決手段】ワークシート2を間歇的に搬送して投影露光を行なう投影露光装置1であって、ワークシート2を載せ搬送可能な露光テーブル4と、露光テーブル4により投影位置に搬送されたワークシート2に投影露光を行なう投影露光部10と、を備え、露光テーブル4が、ワークシート2の搬送方向において所定のストロークだけ前進及び後進が可能であり、かつワークシート2の保持及び解放が可能であって、露光テーブル4が、ワークシート2を保持した状態で前進し、ワークシート2を解放した状態で後進することによって、ワークシート2を間歇的に搬送する投影露光装置1を提供する。【選択図】 図1c

請求項（抜粋）：

ワークシートを間歇的に搬送して投影露光を行なう投影露光装置であって、 前記ワークシートを載せ搬送可能な露光テーブルと、 前記露光テーブルにより投影位置に搬送された前記ワークシートに投影露光を行なう投影露光部と、 を備え 前記露光テーブルが、前記ワークシートの搬送方向において所定のストロークだけ前進及び後進が可能であり、かつ前記ワークシートの保持及び解放が可能であって、 前記露光テーブルが、前記ワークシートを保持した状態で前進し、前記ワークシートを解放した状態で後進することによって、前記ワークシートを間歇的に搬送することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G03F7/20 501 ,  H05K3/00 H

Fターム (5件)：

2H097AB07 ,  2H097BA02 ,  2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097LA09

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 帯状ワークの露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-273343   出願人：ウシオ電機株式会社
• 帯状ワークの露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-138906   出願人：東レエンジニアリング株式会社
• 画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-191116   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 帯状ワークの露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-075765   出願人：ウシオ電機株式会社
• 帯状ワ-クの露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-015488   出願人：ウシオ電機株式会社
• 特開平3-019249