特許
J-GLOBAL ID：200903070742931211
マイクロレンズアレー原版およびマイクロレンズアレー作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109904
公開番号（公開出願番号）：特開平5-303009
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 大面積のMLA原版を容易に作製するとともに、大量のMLAを効率的に作製する。【構成】 金属板に塗布したフォトレジストをパターニングしてスプレーエッチングし、フォトレジストを剥離してマイクロレンズアレー原版を作製し、さらに作製したマイクロレンズアレー原版上にフォトポリマーを滴下して基板を積層し、紫外線照射または電子線照射によりフォトポリマーを硬化した後、マイクロレンズアレー原版から剥離することによりマイクロレンズアレーを作製することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
金属板に塗布したフォトレジストをパターニングする段階、パターニングされたフォトレジストをエッチング液でエッチングする段階、エッチング後フォトレジストを剥離する段階からなるマイクロレンズアレー原版作製方法。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
