特許
J-GLOBAL ID：200903070764362342
フォトレジスト用ポリエステルフイルム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-208321
公開番号（公開出願番号）：特開平10-046012
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】 透明性と取扱い性(滑り性)の両方の特性を同時に満足し、しかも積層フイルムにせずに単層フイルムでも十分に使用可能なフォトレジスト用フイルムを提供する。【解決手段】 平均粒径が0.01〜0.1μmの一次粒子の凝集体であって、細孔容積が0.5〜2.0ml/g、平均粒径が0.1〜5μmの多孔質シリカ粒子を0.01〜0.1重量%含有し、該多孔質シリカ粒子のうち、50μm以上の大きさの粗大凝集粒子の個数が10個/m2 以下であることを特徴とするフォトレジスト用ポリエステルフイルム。
請求項（抜粋）：
平均粒径が0.01〜0.1μmの一次粒子の凝集体であって、細孔容積が0.5〜2.0ml/g、平均粒径が0.1〜5μmの多孔質シリカ粒子を0.01〜0.1重量%含有し、該多孔質シリカ粒子のうち50μm以上の大きさの粗大凝集粒子の個数が10個/m2 以下であることを特徴とするフォトレジスト用ポリエステルフイルム。
IPC (5件)：
C08L 67/02
, C08J 5/18 CFD
, C08K 7/26 KKH
, G03F 7/004 512
, G03F 7/09 501
C08L 67/02
, C08J 5/18 CFD
, C08K 7/26 KKH
, G03F 7/004 512
, G03F 7/09 501
