特許
J-GLOBAL ID：200903070772718261

環状面縮小投影光学系

発明者：
ディヴィッド エム ウィリアムソン

ディヴィッド エム ウィリアムソン について


出願人/特許権者：
エスヴィージー リトグラフィー システムズ インコーポレイテッド

エスヴィージー リトグラフィー システムズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-264937
公開番号（公開出願番号）：特開平11-249313
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 極紫外線波長領域に使用される長共役点および短共役点を有している環状面縮小投影光学系において、スループットを改善するために適った結像が行われる比較的大きな像面を有する投影光学系を提供する。【解決手段】 長共役点から短共役点に向かって凸から凹へと交番する複数の曲面鏡が設けられており、これによりアーチ状の像面が形成されるようにした。
請求項（抜粋）：
極紫外線波長領域において使用される長共役点および短共役点を有している環状面縮小投影光学系において、長共役点から短共役点に向かって凸から凹へと交番する複数の曲面鏡が設けられており、これによりアーチ状の像面が形成されるようにしたことを特徴とする環状面縮小投影光学系。
IPC (2件)：
G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 518
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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