特許

J-GLOBAL ID：200903070835251172

遊星歯車方式平行平面加工盤のワークキャリヤ停止位置制御装置

発明者： 黄瀬 康弘
出願人/特許権者： 浜井産業株式会社
代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234550
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061828
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 加工盤の停止後にワーク脱着のために位置合わせをする場合に、駆動が面倒であるのと、加工後のワークに悪影響が与えることがあった。【解決手段】 加工開始時のワークキャリヤの公転位置および自転位置を記憶しておき、加工中のサンギヤとインターナルギヤの回転を検出して加工開始時からの累積回転角度を算出する。次いで、加工中に加工終了の指令が入力されると、その時点のサンギヤとインターナルギヤの累積回転角度から各ワークキャリヤの公転位置および自転位置を算出し、ワークキャリヤを目標停止位置に停止させるためにサンギヤおよびインターナルギヤの駆動モータの速度を徐々に減速する。

請求項（抜粋）：

外周に歯面を形成するとともに回転方向に均等に複数のワーク保持孔を形成したワークキャリヤを、サンギヤとインターナルギヤの間に複数個装着し、ワークを各ワーク保持孔に装着した状態でワークキャリヤ両面を下定盤と上下動可能な上定盤との間に挟み込み、サンギヤとインターナルギヤをそれぞれ駆動モータにより回転駆動させてワークキャリヤを自転・公転をさせるとともに、同時に下定盤および上定盤を回転駆動することによりワークを平行平面加工する遊星歯車方式平行平面加工盤のワークキャリヤ停止位置制御装置であって、加工開始時のワークキャリヤの公転位置および自転位置を検出して記憶しておく手段と、加工中のサンギヤとインターナルギヤの回転を検出して加工開始時からの累積回転角度を算出する手段と、加工中に加工終了の指令が入力されると、その時点のサンギヤとインターナルギヤの累積回転角度から各ワークキャリヤの公転位置および自転位置を算出する手段と、算出されたワークキャリヤの公転・自転位置および回転速度にもとづきワークキャリヤからワークを着脱するための目標停止位置を決定する手段と、ワークキャリヤを目標停止位置に停止させるためにサンギヤおよびインターナルギヤの駆動モータを減速する指令を作成して出力する手段と、を備えたことを特徴とする遊星歯車方式平行平面加工盤のワークキャリヤ停止位置制御装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621

FI (2件)：

B24B 37/04 F ,  H01L 21/304 621 A

Fターム (10件)：

3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058BA07 ,  3C058BC01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-111770
  
• 研磨機のハンドリング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-110589   出願人：日立造船株式会社
• 特許第2535089号