特許

J-GLOBAL ID：200903070898260260

半導体ウエハの一斉方向合わせ方法及びその装置

発明者： 佐藤 雅昭 ,  桑田 伸吾
出願人/特許権者： ゼテック株式会社
代理人 (1件)： 山広 宗則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073156
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246357
出願日： 1996年03月04日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ウエハがキャリアに収められたままで一斉方向合わせが短い時間で可能な半導体ウエハの一斉方向合わせ方法及びその装置を提供すること。【解決手段】 複数枚のウエハ10がキャリア90に収められた状態で各ウエハ10がそれぞれ対応する駆動用ローラ30及び回転自在の保持用ローラ20により把持されて全ウエハ10が鉛直同軸に配列され、次いでキャリア90と非接触の状態に持ち上げられ、各駆動用ローラ30により各ウエハ10が一斉に回転駆動され、光学センサ40により切り欠き11が検出されて一斉に方向合わせが行われる。その後、駆動用ローラ30及び保持用ローラ20が下げられ退避され、全ウエハ10がキャリア90に方向合わせされた状態で収められる。

請求項（抜粋）：

キャリアに収められそれぞれ周縁の一点に方向合わせ用の微細な円弧状切り欠きが設けられた複数枚のウエハを、鉛直方向に略同軸平行に複数段、水平に保持した状態で、回転自在の保持用ローラ及び各ウエハにそれぞれ対応する駆動用ローラにより把持して全ウエハを鉛直同軸に配列した後、全ウエハをキャリアと非接触の状態に持ち上げ、各駆動用ローラにより各ウエハを一斉に回転駆動し、各ウエハが回転する間に光学式センサによって、切り欠きがその回転軌道上の所定位置を通過したことが検出されると、対応する駆動用ローラを停止させ、全駆動用ローラが停止し全ウエハが方向合わせされると、保持用ローラ及び全駆動用ローラを元の位置に下げ、かつ保持用ローラ及び全駆動用ローラによる把持を解いて、全ウエハをキャリアに方向合わせした状態で収めるようにしたことを特徴とする半導体ウエハの一斉方向合わせ方法。

FI (2件)：

H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 V

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板位置合せ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-295375   出願人：日本電気株式会社
• 特開平2-269589
  
• 特開平2-269589