特許

J-GLOBAL ID：200903070911146847

対象物を検査するための干渉計測装置

発明者： ビート メラー ,  ギュンター ルドルフ
出願人/特許権者： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 松田 省躬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-037986
公開番号（公開出願番号）：特開平10-262929
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】 被検者の眼球の不随意運動に左右されずに、かつ信号ノイズ比率の低減した高感度の深部断面画像の獲得を実現すること【解決手段】 1つの照射光ビームと、照射光を種々異なる方向の光線成分とするための回折用光学素子(以下DOEという)とからなり、照射ビーム中で少なくとも一方向にその照射光を偏向させる走査素子の少なくとも1つに先行して前記DOEが設けられ、光学的光路長の差を調整するために、対象物の検査用の照射光が入射される位置調整可能な干渉計アームが少なくとも1個設けられている対象物を検査するための干渉計測装置。

請求項（抜粋）：

1つの照射光ビームと、照射光を種々異なる方向の光線成分とするための回折用光学素子(以下DOEという)とにより対象物を検査するための干渉計測装置において、照射ビーム中で少なくとも一方向にその照射光を偏向させる走査素子の少なくとも一つに先行して前記DOEが設けられている装置。

IPC (2件)：

A61B 3/10 ,  G02B 5/18

FI (2件)：

A61B 3/10 R ,  G02B 5/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 眼球内距離の測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-349471   出願人：カールツアイスイエーナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 立体形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-235239   出願人：興和株式会社
• レーザスキャナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-333299   出願人：オリンパス光学工業株式会社