特許
J-GLOBAL ID：200903070924227218
振動アーム、振動子および振動型ジャイロスコープ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-059348
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257968
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】圧電性材料からなる振動体を備えている振動アームおよび振動子において、その振動アームにおける振動のQ値を幅広く制御できるようにする。【解決手段】所定の振動が励振されるべき振動アーム3A-3D、9A、9Bは、圧電性材料からなる振動体12と、振動体12における所定の振動のQ値を調整するように振動体12に設けられている膜状のQ値調整部5A-5Fを備えている。Q値調整部の厚さは、好ましくは0.5μm以上である。
請求項（抜粋）：
所定の振動が励振されるべき振動アームであって、圧電性材料からなる振動体と、この振動体における前記所定の振動のQ値を調整するように前記振動体に設けられている膜状のQ値調整部とを備えていることを特徴とする、振動アーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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