振動子とその調整方法および角速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下出隆史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-225635
公開番号（公開出願番号）：特開平8-061960
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】振動子や角速度センサの感度の向上と感度調整の簡略化を図る。【構成】振動子10は、両端が固定されたトーションバー16により音叉型振動体12を結合支持し、このトーションバー16にねじり振動体14,15を備える。そして、これらでねじり振動系を形成する。音叉型振動体12の各振動片12a,12bがX軸に沿って平面振動している際に回転角速度が作用すると、コリオリの力により音叉型振動体12にトーションバー16を中心とするねじり振動が励起され、ねじり振動系にも回転角速度に応じたねじり振動が起きる。このねじり振動を音叉型振動体12およびねじり振動体14,15で増幅し、ねじり振動体14,15に設けたねじり振動検出用圧電体20a,20bでねじり振動を検出する。

請求項（抜粋）：

対となる第1の振動片と第2の振動片とを結合して音叉形状をなし、平面における所定の一方向に沿った振動を起こし得る音叉型振動体を、外部の固定部材に固定された支持体に支持して備える振動子であって、前記固定された支持体と前記音叉型振動体とで前記支持体を中心とするねじり振動系を形成するよう、前記支持体を前記音叉型振動体の音叉形状股部において前記監査型振動体に結合して前記音叉型振動体を前記支持体に支持して備え、更に、前記支持体に突出して設けられて前記ねじり振動系に付加され、該ねじり振動系に励起されたねじり振動に伴ってねじり振動を起こすねじり振動体を備え、該ねじり振動体は、前記支持体から突出して設けられたビームと、前記支持体から距離をおいて該ビームに設けられた質量体部とを有することを特徴とする振動子。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭51-033491
特開昭60-073414
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-341126 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (8件)

特開昭51-033491
特開昭60-073414
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-341126 出願人：キヤノン株式会社

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