特許

J-GLOBAL ID：200903070944729953

面位置検出装置および方法、それを用いた露光方式、ならびにデバイス製造方法

発明者： 山田 雄一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-270690
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116877
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 被露光域の形状の影響を受けることなく被露光域の面位置を高精度に検出する。【解決手段】 基板と相対走査しながらそれぞれ該基板上の複数箇所の面位置を計測する複数のセンサを用いて該基板の前記計測箇所に対応する面位置を検出する際に、前記基板の処理に関する情報に基づいて走査計測時の各センサの各計測箇所ごとの計測値の有効/無効を事前に判定しておき、走査計測時、前記判定情報に基づいて計測に用いられる前記センサをダイナミックに切り換えて、切り換えられたセンサの計測出力に基づいて前記基板の面情報を算出する。

請求項（抜粋）：

基板を相対走査しながらそれぞれ該基板上の複数箇所の面位置を計測する複数のセンサと、前記基板の処理に関する情報に基づいて走査計測時の各センサの各計測箇所ごとの有効/無効を事前に判定し、記憶する手段と、走査計測時、前記判定情報に基づき計測値の有効なセンサを選択しながらそれらの計測出力に基づいて前記基板の面情報を算出する手段とを具備することを特徴とする面位置検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 F ,  G01B 11/00 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 526 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-346073   出願人：株式会社ニコン
• 特開平1-164033
  
• 面位置設定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-067271   出願人：株式会社ニコン
• 特開平1-164033
  
• 特開平1-164033