特許
J-GLOBAL ID：200903070966218839
漏洩探知方法と装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241716
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090105
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】ターボ分子ポンプの圧縮比を低くすることなく分析管へ逆拡散するガス量を多くでき、分析管内の測定ガスのクリーンアップとレスポンス時間を短縮する【解決手段】分析管2内を排気するターボ分子ポンプ3の排気口にフォアバルブ4を備えた接続管5を介して補助排気ポンプ6を接続し、漏洩試験体7に接続される排気管9を、粗引きバルブ11を介してフォアバルブと補助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共にテストバルブ10を介してターボ分子ポンプの排気口よりも圧縮比の低い位置の中間口3aに接続し、粗引きバルブ11を開いて漏洩試験体内を所定の真空に排気したのちフォアバルブ及びテストバルブを開いて排気管に引き出される漏洩試験体からの漏洩ガスの一部を該テストバルブ、ターボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバルブを介して該排気管と接続管を循環させながら分析管に於いて漏洩ガスを検出する
請求項（抜粋）：
分析管内を排気するターボ分子ポンプの排気口にフォアバルブを備えた接続管を介して補助排気ポンプを接続し、漏洩試験体に接続される排気管を、粗引きバルブを介して該フォアバルブと補助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共にテストバルブを介して該ターボ分子ポンプの排気口よりも圧縮比の低い位置の中間口に接続し、粗引きバルブを開いて該漏洩試験体内を所定の真空に排気したのち該フォアバルブ及びテストバルブを開いて該排気管に引き出される漏洩試験体からの漏洩ガスを該テストバルブ、ターボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバルブを介して該排気管と接続管を循環させながら該分析管に於いて漏洩ガスを検出することを特徴とする漏洩探知方法。
引用特許：
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